В Санкт‑Петербургском государственном электротехническом университете (ЛЭТИ) создали прототип установки для изучения новых типов полупроводниковых плёнок. Как рассказали создатели, эта установка должна позволить технологическим предприятиям и научным лабораториям снизить стоимость и упростить процесс изучения сверхтонких материалов для микроэлектроники. Исследования уже опубликованы в научном журнале Technologies.
По словам доцента кафедры микро и наноэлектроники СПбГЭТУ «ЛЭТИ» Никиты Пермякова, разработка представляет собой прототип зондовой установки, позволяющей изучать характеристики тонких материалов (плёнок). Эти плёнки могут быть компонентной базой для электроники нового типа. Предложенное учёными решение (использование «жидких» зондов) позволяет исследовать тонкие плёночные образцы материалов, не разрушая их по сравнению с аналогами.
Установка может изучать все основные (вольт‑амперные) характеристики полупроводниковых материалов. Образцы располагаются на специальном столике, к которому подводятся специальные зонды. Каждый зонд представляет собой шприц с металлической иглой (диаметр отверстия 400 микрон), сходный с теми, что используются в инсулиновых помпах.
Действующий прототип располагает всего одним зондом. С его помощью исследователям ЛЭТИ удалось успешно провести измерения характеристик тонких плёнок оксида цинка (ZnO) — полупроводника, считающимся перспективным материалом для электродов, компонентов для топливных элементов и лазерной техники. В перспективе при изучении образцов установка будет комплектоваться четырьмя зондами. Перемещение зондов в трёхмерном пространстве будет производиться с помощью станка с числовым программным управлением.
